next up previous
Naprej: Nadomestna vezava Gor: Transistorji SIPMOS: Pregled Nazaj: Splosne lastnosti

Tehnologija

Transistoji SIPMOS imajo vertikalno strukturo z dvojno implantacijo kanala. Tako govorimo tudi o DIMOS procesu.

V primeru N-kanalnega transistorja sluzi substrat kot nosilec pod katerim se nahaja ponor. Na substrat je nanesena epitaksialna plast spremenljive debeline. Potrebna debelina epitaksialne plasti je odvisna od zaporne napetosti. Vrata (gate) iz polisilicija vgrajena v izolacijski silicijev dioksid, ki deluje kot implantacijska maska za zaporno plast p (p-tub) in izvor (source).

Izvor prekriva celotno podrocje in povezuje posamezne celice transistorja na rezini v paralelno strukturo. V mocnostnih transistorjih SIPMOS je na rezini paralelno povezano do 6000 osnovnih celic.

 

 

Slika 2: Zgradba N-kanalnega SIPMOS transistorja

Na sliki 2 je prikazana zgradba N-kanalnega SIPMOS transistorja s plastmi in nekaj osnovnimi celicami. Metalizacija izvora kratko sklene spoj baza--emitor parazitnega transistorja , kar je nujno potrebno, da se prepreci vklop tega transistorja pri prehodnih pojavih, kit so hitri dvizni casi (). Prehodni pojavi so pogosti tudi pri hitrih komutacijskih ciklih na inverzni diodi, ki jo predstavlja bazno--kolektorski spoj .

 

 

Slika 3: Prerez N-kanalnega transistorja z oznacenim parazitnim bipolarnim transistorjem

Na sliki 3 je prikazan prerez in nadomestna vezava SIPMOS transistorja. Vertikalna izgrandja transistorja omogoca optimalno izrabo povrsine rezine in dobro odvajanje transistorja. Dvojna implantacija zatradi kratkih dolzin kanala omogoca enakomerno porazdelitev toka med posamezne celice. Silicijeva rezina je pritrjena na ohisje s postopkom mehkega spajkanja, medtem ko so prikljucni kontakti pritrjeni z ultrazvokom. Prikljusni material je aluminij in je enak metalizaciji transistorja. Debelina prikljuckov je dolocena z maksimalnim dopustnim tokom skozi transistor.



Leon Kos
Tue Nov 21 11:30:25 GMT+0100 1995